项目及标段名称

GXLF项目大尺寸等离子体增强均匀沉积组件

招标人

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

招标人联系电话

18780568867

招标代理机构

新华招标有限公司

招标代理机构联系电话

18280855825

开标地点

成都市青羊区鼓楼南街101号丰德成达中心7楼

开标时间

20260707 - 09:00:00

公示期

2026年07月08日 至 2026年07月13日

投标最高限价（元）

5200000.00

中标候选人及排序

中标候选人名称

质量

工期（交货期）

投标报价（元）

经评审的投标价（元）

综合评标得分

第一名

成都超迈光电科技有限公司（/）

/

合同签订后两个月内完成实施方案评审；合同签订后六个月内完成工程设计方案评审与数字样机研制；2027年12月30日前完成离线集成调试及出厂验收，并具备交付条件；2028年06月30日前在招标人现场完成总体集成及指标测试；2028年12月30日前完成项目终验收。

5053500.00

5053500.00

94.68

第二名

大连齐维科技发展有限公司（/）

/

合同签订后两个月内完成实施方案评审；合同签订后六个月内完成工程设计方案评审与数字样机研制；2027年12月30日前完成离线集成调试及出厂验收，并具备交付条件；2028年 06月30日前在招标人现场完成总体集成及指标测试；2028年12月30日前完成项目终验收。

5088000.00

5088000.00

93.11

第三名

广东众元半导体科技有限公司（/）

/

在合同签订后两个月内完成实施方案评审；合同签订后六个月内完成工程设计方案评审与数字样机研制；2027年12月30日前完成离线集成调试及出厂验收，并具备交付条件；2028年06月30日前在招标人现场完成总体集成及指标测试；2028年12月30日前完成项目终验收。

4860000.00

4860000.00

90.11

中标候选人评审结果

中标候选人排序

中标候选人名称

评标专家

商务部分得分

技术部分得分

报价部分得分

第一名

成都超迈光电科技有限公司（/）

招标人代表1

10.75

22.00

59.91

评标专家1

10.75

24.30

59.91

评标专家2

10.75

23.00

59.91

评标专家3

10.75

25.50

59.91

评标专家4

10.75

25.30

59.91

第二名

大连齐维科技发展有限公司（/）

招标人代表1

9.00

24.60

59.43

评标专家1

9.00

22.00

59.43

评标专家2

9.00

22.50

59.43

评标专家3

9.00

26.50

59.43

评标专家4

9.00

27.80

59.43

第三名

广东众元半导体科技有限公司（/）

招标人代表1

9.25

23.80

56.86

评标专家1

9.25

21.20

56.86

评标专家2

9.25

23.00

56.86

评标专家3

9.25

26.00

56.86

评标专家4

9.25

26.00

56.86

第一中标候选人项目管理机构主要人员（成都超迈光电科技有限公司（/））

职务

姓名

执业或职业资格

职称

证书名称

证书编号

职称专业

级别

项目负责人

/

/

/

/

/

项目技术负责人

廖其龙

职称证

/

材料

教授

第二中标候选人项目管理机构主要人员（大连齐维科技发展有限公司（/））

职务

姓名

执业或职业资格

职称

证书名称

证书编号

职称专业

级别

项目负责人

崔瑱瑱

/

/

/

/

项目技术负责人

郭方准

/

/

/

教授

第三中标候选人项目管理机构主要人员（广东众元半导体科技有限公司（/））

职务

姓名

执业或职业资格

职称

证书名称

证书编号

职称专业

级别

项目负责人

/

/

/

/

/

项目技术负责人

甘志银

/

/

/

教授

第一中标候选人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

普纳斯玛精密仪器(江苏)有限公司

双室高真空PECVD系统

20260603

20260707

双室高真空PECVD系统1套

4900000.00

/

中国科学院兰州化学物理研究所

等离子体处理系统

20200612

20201013

等离子体处理系统1套

182000.00

/

成都汉普升科技有限公司

等离子体增强化学气相沉积系统

20260526

20260707

等离子体增强化学气相沉积系统1套

2800000.00

/

中国科学院光电技术研究所

大口径干法刻蚀系统

20211127

20260707

大口径干法刻蚀系统1套

15830000.00

/

天府兴隆湖实验室

大口径干法刻蚀系统

20221209

20250529

大口径干法刻蚀系统1套

17830000.00

/

北京上为电气成套设备有限公司

等离子体增强化学沉积系统

20260530

20260707

等离子体增强化学沉积系统1套

1450000.00

/

第一中标候选人项目负责人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

技术负责人

无

无

无

无

无

无

无

第一中标候选人技术负责人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

无

无

无

无

无

无

无

第二中标候选人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

大连理工大学

射频容性耦合等离子体刻蚀实验台A包等离子体真空腔体

20221222

20240911

等离子真空腔体1套

943000.00

/

大连理工大学

等离子体真空系统

20211021

20220313

CCP等离子体真空系统2台及ICP等离子体真空系统1台

980000.00

/

大连理工大学

射频容性耦合等离子体刻蚀实验台A包等离子体真空腔体

20221222

20240911

等离子真空腔体1套

945000.00

/

大连理工大学

PECVD工艺腔室与架台

20260427

20260707

PECVD工艺腔室与架台1套

370000.00

/

第二中标候选人项目负责人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

技术负责人

无

无

无

无

无

无

无

第二中标候选人技术负责人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

无

无

无

无

无

无

无

第三中标候选人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

深圳市矢量科学仪器有限公司

武汉大学真空互联薄膜器件创新研院研发重大科学装置01包

20240111

20260707

分子束外延(MBE)系统1套、微波等离子体化学气相沉积系统(MPCVD)1套、双腔室金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)1套、真空互联系统及设备接口改造1套

21544000.00

/

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

HDC涂层制备装置

20260428

20260707

W掺杂HDC涂层制备装置2套和HDC涂层制备装置1套

2680000.00

/

湖北一半天制药有限公司

微波等离子体化学气相沉积设备

20210315

20260707

MPVCD设备6套

5180000.00

/

武汉大学

MPCVD半导体工艺系统

20220210

20230427

MPCVD半导体工艺系统升级1套

485000.00

/

海南明日进出口贸易有限公司

微波等离子体化学气相沉积设备材料

20220927

20250515

MPVCD设备材料55套

38500000.00

/

第三中标候选人项目负责人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

技术负责人

无

无

无

无

无

无

无

第三中标候选人技术负责人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

无

无

无

无

无

无

无

其他投标人（除中标候选人之外）的评审情况

投标人名称

投标报价（元）或否决投标依据条款（投标文件被认定为不合格所依据的招标文件评标办法中的评审因素和评审标准的条款）

经评审的投标价（元）或否决投标理由（投标文件被认定为不合格的具体事实,不得简单表述为未响应招标文件实质性内容、某处有问题等）

综合评估得分或备注

 沈阳腾鳌真空技术有限公司

5163100.00元(/)

5163100.00元(/)

69.66

 武汉博发灵动科技有限责任公司

5130000.00元(/)

5130000.00元(/)

70.01

附注（其他需公示的内容）

无

接收异议的联系人及联系方式

联系人：张晟

联系方式：18280855825

监督部门名称及监督电话

行政监督部门：中国工程物理研究院固定资产建设投资管理中心

联系方式：0816-2485682

异议投诉注意事项

1.投标人或者其他利害关系人对依法必须进行招标的项目的评标结果有异议的，应当在中标候选人公示期间提出。招标人应当自收到异议之日起3日内作出答复；作出答复前，应当暂停招标投标活动。

2.投标人或者其他利害关系人认为评标结果不符合法律、行政法规规定的，可以自知道或者应当知道之日起10日内向有关行政监督部门投诉。投诉前应当先向招标人提出异议，异议答复期间不计算在前款规定的期限内。投诉书应当符合《工程建设项目招标投标活动投诉处理办法》规定。

3.投诉人就同一事项向两个以上有权受理的行政监督部门投诉的，由最先收到投诉的行政监督部门负责处理。

4.应先提出异议没有提出异议，超过投诉时效等不符合受理条件的投诉，有关行政监督部门不予受理；

投诉人故意捏造事实、伪造证明材料或者以非法手段取得证明材料进行投诉，给他人造成损失的，依法承担赔偿责任。

招标人主要负责人或其委托人签字、盖单位章：
 

招标代理机构主要负责人或其委托人签字、盖单位章：